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在太陽能電池制備中plasma等離子清洗表面鈍化和減少死層的影響：
一、plasma等離子清洗表面鈍化
在太陽能電池制備過程中，考慮到切割過程的存在，要在電池表面生成懸掛鍵。懸掛鍵有著捕捉光生載流子、限定光電流的作用，是太陽能電池能量損失較大的一種方式。等離子體技術(shù)可以用氫離子修復鈍化電池表面的懸掛鍵，使硅原子恢復到穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)。
二、plasma等離子清洗降低死層的影響
在擴散區(qū)域，因為不活躍的磷原子處于晶格間隙，會導致晶格缺陷。因為磷和硅的原子半徑不匹配，高濃度的磷也會導致晶格缺陷。因此，在硅電池表面，少數(shù)載流子壽命很低，表面吸收短波光子產(chǎn)生的光生載流子對電池光電流輸出貢獻不大，表面稱為“死層”。“死層”存在是不可避免的，但有些方法可以用來降低“死層”影響。吹掃等離子技術(shù)可以使表面磷原子分布更加均勻，促進磷原子的正確定位，從而減少電池表面死層的影響。
plasma等離子清洗藝參數(shù)是等離子清洗技術(shù)處理的一大特點，使其具有良好的可靠性和再現(xiàn)性，尤其是在工業(yè)生產(chǎn)中。等離子技術(shù)技術(shù)有望在第3代太陽能電池中發(fā)揮重要作用。
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